飛納掃描電鏡能夠提供高分辨率，其分辨率可以達(dá)到幾個(gè)埃甚至更高。這主要得益于其能夠產(chǎn)生極細(xì)的電子束以及電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)檢測(cè)技術(shù)。高分辨率使得掃描電鏡能夠清晰地觀(guān)察到樣品表面的微小細(xì)節(jié)，如納米級(jí)別的顆粒、微納結(jié)構(gòu)的表面形貌等，為材料科學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)等領(lǐng)域的研究提供了有力的工具，有助于揭示材料的微觀(guān)結(jié)構(gòu)和性能之間的關(guān)系。
掃描電鏡具有較大的景深，這意味著即使在觀(guān)察具有一定粗糙度或高低起伏的樣品表面時(shí)，也能夠保持整個(gè)觀(guān)察區(qū)域清晰成像。相比之下，光學(xué)顯微鏡的景深較小，在觀(guān)察表面不平整的樣品時(shí)，往往會(huì)出現(xiàn)部分區(qū)域模糊不清的情況。掃描電鏡的大景深特點(diǎn)使其特別適合于觀(guān)察各種復(fù)雜形狀和表面形態(tài)的樣品，如生物組織的切片、多孔材料、集成電路芯片等，能夠展示樣品的表面特征，而不會(huì)因?yàn)榫吧钕拗贫鴣G失細(xì)節(jié)信息。
與透射電鏡(TEM)不同，飛納掃描電鏡不需要將樣品制備成非常薄的切片或薄膜，可以直接觀(guān)察大塊的材料樣品。這是因?yàn)閽呙桦婄R主要是通過(guò)檢測(cè)樣品表面的信號(hào)來(lái)成像，而不是像透射電鏡那樣依賴(lài)電子透過(guò)樣品。這一優(yōu)點(diǎn)使得掃描電鏡在研究各種實(shí)際材料和應(yīng)用方面具有更大的靈活性，例如可以直接觀(guān)察金屬零件的斷口、陶瓷材料的斷面、高分子材料的表面等，無(wú)需繁瑣的制樣過(guò)程，且能夠更好地反映材料在實(shí)際使用狀態(tài)下的表面情況。
除了能夠提供高分辨率的表面形貌圖像外，飛納掃描電鏡還具備強(qiáng)大的成分分析功能。通過(guò)配備不同的探測(cè)器，如前述的特征X射線(xiàn)探測(cè)器和俄歇電子探測(cè)器等，可以在觀(guān)察樣品形貌的同時(shí)，對(duì)樣品中的元素成分進(jìn)行定性和定量分析。這種將形貌觀(guān)察與成分分析相結(jié)合的能力，使得掃描電鏡在材料研究、地質(zhì)分析、文物鑒定等眾多領(lǐng)域具有特殊的優(yōu)勢(shì)。例如，在研究合金材料時(shí)，可以同時(shí)觀(guān)察合金的微觀(guān)組織結(jié)構(gòu)以及各相中的元素分布情況，從而深入了解合金的性能與成分及組織結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系；在分析礦物樣品時(shí)，能夠確定礦物的種類(lèi)以及其中各種元素的含量和分布狀態(tài)。
